賽微電子：MEMS微振鏡實現量產！可應用于國產激光雷達！
更新時間：2025-03-12 點擊次數：466次
中國&大的純MEMS晶圓代工廠賽微電子，昨日（9月13日）晚間發布公告，其控股子公司賽萊克斯微系統科技（北京）有限公司為某客戶制造的MEMS微振鏡順利完成小批量試生產階段，2023年9月13日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署采購訂單，賽萊克斯北京開始進行 MEMS 微振鏡的商業化規模量產。據介紹，2022年4月，賽萊克斯北京與某國際激光雷達廠商及其子公司簽署《戰略合作框架協議》，開展面向汽車雷達MEMS微鏡產品的長期戰略合作；2023年8月，賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS微振鏡通過了客戶驗證，啟動MEMS微振鏡8英寸晶圓的小批量試生產。2023年9月，此款MEMS微振鏡完成了小批量試生產階段，實現商業化規模量產。
MEMS微鏡（也被稱為“MEMS微振鏡"、“MEMS掃描鏡"）是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起的光學MEMS器件。MEMS微鏡的運動方式包括平動和扭轉兩種機械運動。
近年來，隨著智能化、電動化、網聯化的加速發展，汽車傳感器市場持續擴大，且基于MEMS等半導體制造工藝生產的傳感器正在逐步替代部分傳統類型傳感器。以汽車自動駕駛功能為例，激光雷達是其中用到的眾多傳感器之一，按照激光掃描方式可以分為機械、混合和固態三種類型。
隨著自動駕駛技術的不斷發展，小型化、低成本、高精度、固態化激光雷達逐漸出現并得到應用。MEMS激光雷達的核心光束操縱元件為MEMS微鏡，可通過半導體工藝進行集成化生產，極大地減少了激光雷達的體積且降低了成本，在車規級批量應用中存在優勢。
公司表示，盡管已在多領域實現MEMS制造技術的積累和突破，但賽萊克斯北京在整體上仍處于運營初期，產線的產能爬坡、良率提升是一個持續的過程，產能擴充及產量目標的實現尚需一定時間。
來源：傳感器專家網
